晶圓倉儲自動化省95%人工搬運量 台積電各廠陸續導入時報記者沈培華台北報導 (2020-06-30 12:34:05)

台積電(2330)表示,成功開發全球首創的「晶圓倉儲自動化搬運系統」,已於第一季在晶圓十八A廠首先啟用,有效降低庫房員工每人每日95%搬運量,預計將於2021年年底前,陸續導入台灣廠區的十二吋超大晶圓廠。

台積公司製造所需的原物料晶圓,每日由供應商配送至各廠區收貨碼頭,再由台積公司庫房員工將盒裝晶圓取出、放上輸送帶分派至無塵室生產。為建構更安全無虞的工作環境、優化日常營運流程效率,台積公司自2018年起,由資材供應鏈管理處攜手風險管理、智能製造中心、製造材料品質可靠性部及新廠規畫部,合力啟動「人因工程—晶圓倉儲自動化」改善計畫,21個月內成功完成晶圓倉儲自動化搬運系統建置。
台積公司晶圓倉儲自動化搬運系統以最新啟用的晶圓十八A廠為導入起點,透過輸送帶、自動導引運輸車與機器手臂的建置,2020年第1次即減省95%非技術性人力負荷,每位庫房員工每日減少1.8公噸搬運量。
台積公司預計,晶圓十二B廠、晶圓十四A/B廠及晶圓十五A/B廠,亦將於2021年前陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統,目前興建中的晶圓十八B廠,亦將同步建置晶圓倉儲自動化搬運系統。
台積公司的晶圓倉儲自動化搬運系統,是全球第一座半導體晶圓收貨上架的自動化系統,並同步展開各晶圓供應商的包材規格標準化作業,取代一次性的包材使用,合作開發出業界第一套可重覆穩定應用於自動化系統的標準化包材,每年成功減少1,717公噸紙箱、288公噸保麗龍盒的使用,相當於減少2,410公噸碳足跡、1,345公噸水足跡,同時節能110萬度。
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