台積iSystem 年創逾8千萬節能效益


晶圓代工龍頭台積電領先全球的高效節能半導體技術,協助客戶生產更具能源效益的終端產品,台積電每用1度電生產,可為全球其他產業與民生用電減省4度電。此外,台積電攜手供應商領先業界打造「iSystem物聯網智慧節能系統」,年創新台幣8,500萬元的節能效益。
台積電實踐內外兼具的綠色創新,對內建立清潔生產的晶圓廠,去年透過執行460項節能措施,有效節電5億度,對外透過開發領先全球的高效節能半導體技術,協助客戶生產更具能源效益的產品。去年經由工研院產業科技國際策略發展所(ISTI)模型推導分析結果,台積電每使用1度生產用電,能為全球減省4度電。

台積電致力實踐綠色製造,持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率,繼引領業界開發世界級半導體綠色機台,更在不影響生產機台效能的前提下,攜手應用材料與附屬設備供應商,針對非生產區(Sub-fab)的附屬設備打造「iSystem物聯網智慧節能控制系統」,並已導入Fab 15B廠80種製程、588台生產機台所屬的2,351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統,達成年度省電1,340萬度、減少13,800公噸碳排放量,成功創造新台幣8,500萬元的節能效益。
半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體,一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉,為提高能源使用效率,2016年台積電攜手供應商開發及導入iSystem系統,將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑,根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID獲得製程氣體實際使用狀態,再依照控制參數即時對附屬設備下達對應的指令,使其可依生產機台使用的製程氣體,同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。
為更擴大節能效益與使用範圍,台積電亦尋求與其他半導體設備供應商合作,所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制,目前除了Fab 15B廠持續進行應用開發與建置外,Fab 18廠亦於今年開始導入,並將逐步推展至台灣廠區所有12吋晶圓廠,預計未來每年可省電8,200萬度、減少84,600公噸碳排放量,創造新台幣5.2億元的節能效益,持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。(新聞來源:工商時報─涂志豪/台北報導)