沸石濃縮雙轉輪系統 台積新技術 廢氣削減99.5%時報-台北電 (2021-01-01 16:02:44)

晶圓代工龍頭台積電在綠色製造又有重大突破,領先業界開發沸石濃縮雙轉輪技術,廢氣削減率達99.5%,沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區的標準設備,截至2020年已完成建置於Fab 15B廠及Fab 18A廠,預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。

此外,台積電2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程,預計將於2025年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區及Fab 18B廠的3奈米與2奈米製程,每年預計將節省8,000萬度電。
台積電以零排放為目標,致力發展空氣汙染防制技術,截至2020年揮發性有機氣體的平均削減率連續第6年超過95%。針對揮發性有機氣體削減,台積電各廠使用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發性有機氣體,其去除效率可達95~97%,遠優於法令排放削減率應大於90%規範。
為進一步導入新技術優化防制設備效能,台積電廠務處攜手供應商,領先國內採用沸石濃縮雙轉輪系統技術,將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣,新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理,成功使削減率達99.5%。沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區標準設備,截至2020年已完成建置於Fab 15B廠、Fab 18A廠,預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。
台積電持續優化製程能源使用效率,2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程,透過高效熱絕緣體減少熱散失,成功的使機台加熱管減少約25%能耗。目前已導入Fab 15廠第7期廠區,預計將於2025年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區,以及Fab 18B廠的3奈米與2奈米製程,每年預計將節省8,000萬度電。(新聞來源:工商時報─記者涂志豪/台北報導)
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