台積電攜手成信實業、長春石化和立盈環保科技打造台中零廢製造中心，設有氧化矽污泥、異丙醇、氟化鈣污泥和有機溶機熱回收廠4區，確保廢棄資源不外流，未來將發展電子級化學品再應用於半導體，開創循環經濟新模式。
半導體研磨製程須使用研磨液，產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥。成信實業針對每種污泥的材料特質，以還原工程技術，使材料保有原用途循環的最大價值
成信實業將晶圓封裝減薄製程的矽污泥製成矽碇產品，將CMP研磨製程污泥回收研磨礦粉再循環利用，廢氟酸污泥則將氟化鈣成分回收再製人造螢石。氧化矽污泥回收廠每月收受量約800噸。
異丙醇主要使用於半導體的清洗製程，用於晶圓清洗與濕式蝕刻製程的乾燥用溶劑。長春石化將廢異丙醇藉由熱回收的蒸氣，蒸餾去除水分與不純物，精餾成電子級異丙醇回供半導體業使用。廢異丙醇回收廠每月收受量為2300噸，可產出再生異丙醇300噸。
有機溶劑同樣使用於半導體的清洗製程，主要用以去除晶圓表面的光阻與有機物。廢混合有機溶劑經由燃燒爐熱裂解後，產生高溫煙道氣經過鍋爐熱回收，產出蒸氣於零廢中心內使用。
有機溶劑熱回收廠每月收受量1300噸，台積電竹科和中科廠廢溶劑可完全自主處理，每小時蒸氣產出量15噸。未來評估導入煙道碳捕捉技術，同時達成零廢棄和淨零排放目標。
氫氟酸使用於半導體的蝕刻與清洗製程，產生的氫氟酸廢水經氟酸化混程序後產生氟化鈣污泥。立盈將氟化鈣污泥經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，在導入成型機造粒與乾燥後生成人造螢石。
氟化鈣污泥回收廠每月收受量1500噸，可產出人造螢石每月750噸。立盈目前螢石純度約75%至80%，可供應鋼鐵業，作為煉鋼助溶劑，有助降低燃點，減少燃料使用，達到節能效果，未來純度達到97%水準，將可製成電子級氫氟酸供半導體業再利用。
台積電台中零廢製造中心目前主要處理台積電台中廠區的廢棄物，台積電持續積極輔導下游供應鏈廠商讓廢棄物純度再提升，達到可再利用的標準，未來中心也將協助處理供應鏈的廢棄物，此外，台積電也將在各地設置更多的零廢製造中心，加速循環經濟發展動能。
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