台積電德勒斯登晶圓廠動土典禮獲高度關注，部分德媒質疑德國政府對國際半導體廠的巨額補貼，得不到同等回報。許多專家則認為半導體產業攸關德國未來競爭力，如總理蕭茲在動土儀式致詞時所回應的「（補貼）合理且必要」。
台積電與博世、英飛凌和恩智浦合資成立的歐洲半導體製造公司（ESMC）晶圓廠啟動建設，預計2027年開始投入生產，此案總投資額逾100億歐元（約新台幣3563億元），當中50億歐元來自德國政府補貼。
德國政府能拿出大筆預算補貼台積電德勒斯登廠，主要得益於去年9月正式生效的歐盟「歐洲晶片法案」（European Chips Act），該法案放寬政府補貼晶片產業的嚴格限制，允許各國政府提供更多財政支持，促進國家半導體產業發展。
然而，部分經濟學家與競爭對手對德國政府對ESMC提供高額補貼表達了質疑。
經研機構慕尼黑衣佛研究所（Ifo Institute）所長菲斯特（Clemens Fuest）受「明鏡週刊」（Der Spiegel）採訪時指出，台積電的德勒斯登廠主要從事生產而非研發，表示德國在技術創新和高附加值方面的收穫有限，對半導體巨頭的高額補貼將得不到同等回報。
德國執政聯盟近期對2025年的預算分配仍舊爭論不休，菲斯特建議應將財政預算投入到基礎設施、教育和醫療等領域，而不是砸大錢吸引外國企業在德國設廠。
此外，全球第3大晶圓代工廠格羅方德（GlobalFoundries，又稱格芯）也表達對德國政府50億歐元補貼台積電強烈不滿。
總裁兼執行長柯斐德（Thomas Caulfield）對「商報」（Handelsblatt）說，補貼政策扭曲市場造成競爭不公，因為台積電已經是晶圓代工龍頭，補貼將使競爭者更難與之匹敵。
他強調，格羅方德在德國半導體製造已經深耕了超過四分之一世紀，「薩克森矽谷」之所以能成為德國晶片生產聚落，離不開格羅方德的貢獻，高額補貼ESMC對已在德勒斯登深耕多年的企業不公平。
產業專家則持不同看法，認為半導體產業攸關德國未來競爭力，補貼如總理蕭茲（Olaf Scholz）在動土儀式致詞所回應的「合理且必要」。
儘管質疑聲音不斷，許多產業專家和政府官員仍堅信，對ESMC的補貼對德國的長遠發展至關重要。
柏林智庫Interface科技政策專家克萊漢斯（Jan-Peter Kleinhans）告訴「明鏡週刊」，在通過晶片法案後，美國已向該產業注入了近390億美元（約新台幣1兆2464億元）的國家資金，認為「德國一定要想清楚，在全球晶片產業中應該扮演的角色」，肯定當前聯合內閣將半導體發展定為國家策略。
日前德國總理蕭茲於ESMC晶圓廠動土致詞時，特別提出多點說明回應質疑聲浪。他表示，半導體產業會成為德國經濟和技術發展的基石，補貼全球領先的台積電在德國設廠合理且必要，強調「沒有半導體，德國就失去了未來。
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