是德科技推出3kV高電壓晶圓測試系統滿足高功率半導體商需求孫敬 (2024-10-16 09:13:24)

是德科技宣布推出4881HV高電壓晶圓測試系統，擴展半導體測試產品組合。該解決方案可實現高達3kV的參數測試，支援一次性完成高、低電壓測試，進而提高功率半導體製造商的生產效率。

記者／孫敬 Archer Sun

量測大廠是德科技（Keysight）宣布推出4881HV高電壓晶圓測試系統，擴展半導體測試產品組合。該解決方案可實現高達3kV的參數測試，支援一次性完成高、低電壓測試，進而提高功率半導體製造商的生產效率。

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市場對精準有效的量測解決方案需求提升

以往製造商需使用不同的測試儀器分別量測晶圓的高、低電壓。 但由於功率半導體的需求因其多功能性、高性能及新一代設備如碳化矽（SiC）和氮化鎵（GaN）的出現而迅速增長，客戶極需更準確、高效的量測解決方案，以縮短產品上市的時間。

為此，是德科技的解決方案，聚焦功率設備製造商在生產過程中，執行製程控制監控（PCM）和晶圓接受測試（WAT）需求，主打三項新測試系統優勢：

高電壓能力以滿足未來需求

高電壓開關矩陣（HV-SWM）支援高達3kV 的需求，可擴充至29個針腳，並與高精密電源量測設備（SMU）整合。從低電壓如sub-pA到3kV高電壓，它可在任意針腳上靈活地進行精密的量測，並支援高壓電容量測量和各種參數測試。

透過單一測試提高生產力和效率

HV-SWM以單一測試系統取代傳統高、低電壓分離的測試系統，提高效率並減少佔地面積和測試時間。該系統透過是德科技的SPECS-FA軟體整合工廠自動化環境，進而提高整體生產效率。

提升安全性和可靠性

測試系統內建電路保護與機器控制功能，可確保操作人員及設備在測試過程中免受高電壓突波的影響，並符合SEMI S2標準等安全法規。

「是德科技很高興能在長期測試先進半導體的基礎上，推出此款轉爲功率半導體設計的全新晶圓測試系統。」是德科技副總裁暨晶圓測試解決方案事業群總經理Shinji Terasawa補充道。

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